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直供！！EBARA荏原 半導(dǎo)體用干式真空泵

直供?。BARA荏原 半導(dǎo)體用干式真空泵 EV-S30P
池田屋實(shí)業(yè)優(yōu)勢(shì)供應(yīng) ，并提供報(bào)價(jià)圖片

  • 更新時(shí)間：2025-03-21
  • 產(chǎn)品型號(hào)：EV-S30P
  • 廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
  • 訪  問  量：159
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聯(lián)系電話：0755-22220219

產(chǎn)品詳情

直供??！EBARA荏原  半導(dǎo)體用干式真空泵    EV-S30P

直供??！EBARA荏原  半導(dǎo)體用干式真空泵    EV-S30P



EV-S型

節(jié)能、節(jié)省空間的干式真空泵

節(jié)能
緊湊輕便
耐腐蝕材料選項(xiàng)
提供 N2 吹掃型號(hào)
不同頻率下性能相同（50/60Hz）
無油
符合 CE 標(biāo)志/SEMI-S2/NRTL 要求

產(chǎn)品介紹

我們的轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)和空轉(zhuǎn)功能實(shí)現(xiàn)了高水平的節(jié)能和緊湊性。這有助于降低運(yùn)行成本。

此外，還提供耐腐蝕材料選項(xiàng)，可用于廣泛的應(yīng)用，從輕負(fù)載應(yīng)用（例如負(fù)載鎖和 SEM）到腐蝕過程。


規(guī)格

模型單元EV-S20EV-S20P/NEV-S30EV-S30PEV-S50EV-S50P/NEV-S100EV-S100P/NEV-S200EV-S200P/N
抽氣速度升/分鐘1,6701,6703,3003,3005,0005,00010,00010,00020,00020,000
極限壓力帕350.51.00.50.50.50.50.50.5
連接尺寸進(jìn)氣
NW50NW50NW50NW50NW50NW50NW80NW80NW100NW100
排氣口
NW25NW25NW25NW25NW25NW25NW25NW25NW40NW40
極限壓力下的近似功率值千瓦0.40.40.40.40.550.550.650.650.750.75
冷卻水流動(dòng)升/分鐘1.5~3.01.5~3.01.5~3.01.5~3.02.0~3.02.0~3.02.0~3.02.0~3.02.0~3.02.0~3.0
溫度℃最多 30最多 30最多 30最多 30最多 30最多 30最多 30最多 30最多 30最多 30
氮?dú)?/td>流動(dòng)帕•立方米/秒-17–20 (2.4)-17–20 (2.4)
17–20 (2.4)
17–20 (2.4)
17–20 (2.4)
電源相位/電壓/頻率200V 型號(hào)
三相/200-220V，50/60Hz三相/200-220V，50/60Hz三相/200-220V，50/60Hz三相/200-220V，50/60Hz三相/200-220V，50/60Hz三相/200-220V，50/60Hz三相/200-220V，50/60Hz三相/200-220V，50/60Hz三相/200-220V，50/60Hz三相/200-220V，50/60Hz
400V 型號(hào)
三相/380-440V，50/60Hz三相/380-440V，50/60Hz--三相/380-440V，50/60Hz三相/380-440V，50/60Hz三相/380-440V，50/60Hz三相/380-440V，50/60Hz三相/380-440V，50/60Hz三相/380-440V，50/60Hz
供電容量千伏安3.23.23.63.64.84.86.46.46.86.8
近似質(zhì)量公斤60609090100100120120170170



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